Fotovoltaické keramické trysky sú presné keramické diely pre rozvody plynu a chemické rozprašovanie vo fotovoltaickej výrobe. Používajú sa v zariadeniach CVD a PECVD, systémoch mokrého-leptania a súvisiacich dávkovacích zostavách, kde je tryska súčasťou procesu-tekutiny.

Hlavné výhody

Presnosť vŕtania ±0,01 mm

Presnosť priemeru otvoru je ±0,01 mm. V zostave na distribúciu plynu alebo kvapalín s viacerými dýzami regulácia každého priechodu do tohto rozsahu obmedzuje odchýlky medzi dýzami a podporuje konzistentnejšie prúdenie v sústave.

Ra Menší alebo rovný 0,2 μm Vnútorný povrch

Vnútorná drsnosť povrchu je Ra menšia alebo rovná 0,2 μm. Hladšia stena ponecháva menej miest pre častice alebo chemické zvyšky, ktoré sa zbierajú v úzkych priechodoch, čo pomáha spomaliť postupné obmedzenie dráhy toku.

Horúca a korozívna procesná obálka

Maximálna pracovná teplota je 1200 stupňov alebo 1500 stupňov v závislosti od zvolenej keramiky a dýzy sú špecifikované tak, aby odolali väčšine kyslých a alkalických plynov. Výber materiálu preto môže byť založený tak na prevádzkovej teplote, ako aj na procesnom médiu.

Prispôsobenie

Materiál

Materiálové možnosti sú 99% oxid hlinitý a karbid kremíka.

Dĺžka a montážne rozhranie

Celková dĺžka je vyrobená podľa výkresu zákazníka. Ramená, príruby, montážne otvory a ďalšie detaily umiestnenia možno pridať tak, aby zodpovedali rozhraniu zariadenia.

Geometria výstupu a prietoku

Schválený výkres alebo prototyp môže definovať rozloženie otvoru, smer výstupu, geometriu nástreku a konfiguráciu viacerých-otvorov.

Špecifikácie

Parameter	Špecifikácia
Typy materiálov	99% oxid hlinitý, karbid kremíka
Presnosť priemeru otvoru	±0,01 mm
Drsnosť vnútorného povrchu (Ra)	Menšie alebo rovné 0,2 μm
Dĺžka trysky	Podľa výkresu zákazníka
Max. Pracovná teplota	1200 stupňov (oxid hlinitý) / 1500 stupňov (karbid kremíka)
Odolnosť proti korózii	Odoláva väčšine kyslých a zásaditých plynov

Kontrola kvality

Veľkosť otvoru sa kontroluje po opracovaní. Vnútorný priechod sa tiež kontroluje na upchatie, poškodenie okrajov a stav povrchu predtým, ako sa dýza presunie na overenie funkčnosti.

Testovanie prietoku potvrdzuje, že hotový priechod je otvorený a poskytuje konzistentný kanál. Vonkajšie rozmery, montážne detaily a tesniace alebo dosadacie plochy sa kontrolujú samostatne podľa výkresu.

Pred balením sa trysky skontrolujú na vzhľad, prijaté množstvo a čistotu. Záznamy o kontrole zostávajú pri šarži, možno zabezpečiť kontrolu treťou stranou{1} a v balení sú oddelené hroty trysiek a presné plochy.